第292章 2号芯片启灵夺舍功能 (第4/4页) 技术制成mosFeT或BJT等组件，再利用薄膜和cmp技术制成导线，如此便完成芯片制作。因产品性能需求及成本考量，导线可分为铝工艺（以溅镀为主）和铜工艺（以电镀为主参见damascene）。主要的工艺技术可以分为以下几大类：黄光微影、刻蚀、扩散、薄膜、平坦化制成、金属化制成。